卢瑟福背散射(RBS)在材料表征中的应用(4)

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材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用

卢瑟福背散射能谱分析RBS分析设备包括离子源、加速装置离子束筛选装置聚焦装装置、离子束筛选装置、聚焦装置、样品室、探测器等等。离子束产生后经过加速、筛选和聚焦后达到样品上被散射，经过探测器得到RBS能谱。

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