材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用
卢瑟福背散射能谱分析卢瑟福背散射（ 卢 福背散射 Rutherford Backscattering Spectrometry，简称RBS）的理论 简称 的 论 基础是入射离子与靶原子核之间的大角度库仑散射。入射离子一般用MeV量 级的 粒子，。 （1）入射离子与靶原子核发生弹性碰撞，损失一些能量，通过对散射离子 的能量的测定可定性确定靶原子的质量； （2）发生碰撞时，靶的原子浓度和散射截面决定了散射离子的产额，测定 散射离子的产额可确定靶的原子浓度； （3）入射离子在散射前、后穿透靶物质要损失一些能量，测定散射离子的 能谱，可以确定靶原子沿着深度的分布。 离子能量低于靶原子发生核反应阈能条件下，入射离子和靶原子核之间发 生弹性碰撞而被散射。通过测定散射离子的能谱，即可对样品中所含元素 作定性、定量和深度分析。散射还与晶体的好坏有关，通过测定沟道谱可 以对样品的晶体性进行判断，进行缺陷测定等等。
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