卢瑟福背散射(RBS)在材料表征中的应用(16)

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材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用

2、散射截面散射截面能量为2 MeV的粒子射不同单元素子入射不同单元素薄层时的相对产额。对于重元素，由于较大的散射截面，较大的散射截面其RBS敏感度比对轻元素高100倍以上。能量值表示表面处散射的离子能量。

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