卢瑟福背散射(RBS)在材料表征中的应用(13)

材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用

2、散射截面 散射截面 定量分析的基础－散射截面 定量分析的基础 散射截面 ： 假设Q为射到单元素薄靶上的入射离子总 数，d 为位于 散射角的探测器处的微分 立体角，dQ为探测器接收到的散射离子 数，N为靶原子的体积密度，t为靶的厚度， t为靶原子的面积密度即质量密度，定义 Nt 微分截面为： 在RBS分析中，探测器 分析中，探测器一般在 般在 某一个散射角度 上，所以进行 定量分析必须知道在该角度上 出现散射离子的几率－微分散 出现散射离子的几率 微分散 射截面，它关系到背散射离子 的数目。d 1 1 dQ d N t Q d 对于探测器的整个接收面积，则有平均微分 对于探测器的整个接收面积 则有平均微分 散射截面（RBS中一般称为散射截面）为：1 d d d 为探测器所张的立体角。

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