卢瑟福背散射(RBS)在材料表征中的应用(15)

材料表征中卢瑟福背散射表征手段的原理及运用

2、散射截面 散射截面 1、散射截面正比于 散射截面正比于Z12，为了提高分 为了提高分 析灵敏度，用 粒子比用质子有利； 2、散射截面正比于Z22，所以分析重 元素比分析轻元素灵敏度高； 3、散射截面反比于E2，因而入射离 子在表面的散射几率低于在 定深度 子在表面的散射几率低于在一定深度 处的散射几率； 4、当m<<M时，散射截面随着入射 角度 的减小很快增加。 的减小很快增加 对于常用的能量为MeV的 粒子，在通常的条件下，典型的散射截面为每单位 立体角几靶到几十靶。 立体角几靶到几十靶

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