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77. ISO14644国际标准(中文版)(8)

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(资料)

表1中等级的图解形式

图A.1为图解形式说明表1中的空气洁净度等级,仅供演示用。表1中的ISO待批等级在此用线条表示出该等级的被考虑阈值粒径的浓度限值,其依据是用3.2中公式(1)进行的计算。由于线条表示的仅是近似的等级限值,因此不得用于定义限值。限值只能按照公式(1)确定。

图示的等级线不可外推超过实心圆符号。实心圆符号是所示各ISO等级认可的最大和最小粒径限值。

等级线不代表在洁净室或洁净区内呈现的实际粒径分布。

注1 Cn表示大于或行于被考虑粒径的悬浮粒子最大允许浓度(pc/m3空气)。 注2 N表示规定的ISO等级级别。

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