2. 5 角色 2. 5. 1 用户
负责规定洁净室或洁净区的要求的组织或其代理。 2. 5. 2 供应商
被聘用来满足规定的洁净室或洁净区的要求的组织。
3 等级 3. 1 占用状态
洁净室或洁净区内空气的粒子洁净度应按“空态”、“静态”和“动态”三种占用状态中的一种或三种(见2.4)进行定义。
注 应认识到“空态”适用于新建成的或新发行的洁净室或洁净区。对“空态”的测试完成后,即应进一步测试“静态”或“动态”或两种状态。
3. 2 等级级别
空气中悬浮粒子洁净度以等级序数N命名。各种被考虑粒径D的粒子Cn的最大允许浓度用下述公式确定:
0.1
Cn=10N×
D
2.08
(1)
式中,
Cn —大于或行于被考虑粒径的粒子最大允许浓度(pc/m3空气)。Cn以有效数为3位四
舍五入到最靠近的整数。
N —ISO 等级级别,最大不超过9。ISO 等级级别N之间的中间数可以按0.1为最小允许递增值进行规定。
D —以微米(μm)计的被选粒径。
0.1 —为一常数,表示以微米(μm)计的量纲。
表1表示的是被选择的悬浮粒子洁净度等级和大于或等于表中所考虑粒径的粒子之相应浓度限值。图A.1(见附录A)以图解形式表示出所选的等级。在有争议的情况下,从公式(1)中得到的浓度Cn应作为标准值。 3. 3 命名
洁净室或洁净区的悬浮粒子洁净度的命名应包括: a) 等级级别,以“ISO Class N”表示: b) 分组时的占用状态:
c) 按分级公式(1)测定的被考虑粒径,各被考虑粒径的阈值均在0.1μm-0.5μm的
范围内。 命名实例:
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