77. ISO14644国际标准(中文版)(17)

四舍五入为 382pc/m3 D．1．10

按公式（C.4）计算95%置信上限(UCL)（见C.3.4）.单个平均值采样点数m=9,取自表C.1中的分布系数t=1.9。

2154

95%UCL(≥0.3µm)=6349+1.9

9

=7713.2

四舍五入为 7713pc/m3

(D.11)

382

95%UCL(≥0.5µm)=706+1.9 9

=947.9

四舍五入为 948pc/m3 D．1．11

(D.12)

按B.6.1对结果进行整理。在D.1.7中各单次采样量的粒子浓度低于规定的等级限值。在D.1.10中，计算出的95%置信上限值同样低于在D.1.3中规定的等级限值。 因此，该洁净室的悬浮粒子洁净度符合要求的级别。 D．2 实例2 D．2．1

本示例目的在于证实95%UCL的计算对结果的影响。

某一洁净室规定悬浮粒子洁净度为ISO 3级，动态，采样点数定为5个。由于采样点数多于1个，少于10个，应按附录C计算95%置信上限。 只考虑一种粒径（D≥0.1μm）。 D．2．2

ISO 3级，粒径≥0.1μm，从表1中取粒子浓度限值：

Cn（≥0.1μm）= 1000 pc/m3

D．2．3

在各采样点仅单次采样，按（B.5.1.1）记录各点的粒子浓度Xi pc/m3，并记录如下。 采样点 Xi≥0.1μm 1 926 2 958 3 937 4 963 5 214

D=0.1μm时各粒子浓度值小于D.2.2中确定的限值。这个结果满足了等级的第一部分（B.6.1），因此可以按附录C进行95%置信上限的计算。 D．2．4

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