77. ISO14644国际标准(中文版)(5)

U描述符

测得或规定的粒子浓度，即含超微粒子的浓度以pc/m3空气计，

注 U描述符可认为是采样点平均值的上限（或置信上限，取决于用于确定洁净室或洁净区特性的采样点

数目）不能用U描述符来定义且悬浮粒子洁净度等级，但可以单独引用或与悬浮粒子洁净度等级一起引用。

2. 3. 2 M描述符

测得或规定的每m3空气中大粒子的浓度，以作为所用测试方法特性的当量直径来表示。

注 M描述符可认为是采样点平均值的上限（或置信上限，取决于用于确定洁净室或洁净区特性的采样点数目）不能用M描述符来定义悬浮粒子洁净度等级，但可以单独引用或与悬浮粒子洁净度等级一起引用。

2. 4 占用状态 2. 4. 1 空态

设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料或人员在场。

2. 4. 2 静态

设施已经建成，生产设备已经安装好，并以用户和供应商同意的方式运行，但没有人员在场。

2. 4. 3 动态

设施以规定的方式运行，有规定数目的人员在场，并以双方同意的方式进行工作。

表1 洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级

ISO等级序数

（N） ISO Class 1 ISO Class 2 ISO Class 3 ISO Class 4 ISO Class 5 ISO Class 6 ISO Class 7 ISO Class 8 ISO Class 9

0.1μm 10 100 1 000 10 000 100 000 1 000 000

大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值 （pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算） 0.2μm 2 24 237 2 370 23 700 237 000

0.3μm 10 102 1 020 10 200 102 000

0.5μm 4 35 352 3 520 35 200 352 000 3 520 000 35 200 000

1μm 8 83 832 8 320 83 200 832 000 8 320 000

5μm 29 293 2 930 29 300 293 000

注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。

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