77. ISO14644国际标准(中文版)(14)

附录D

（资料部分）

等级计算的应用实例

D．1 例1 D．1．1

被测的洁净室面积（A）为80m2。需要确定其在动态下是否符合规定的悬浮规定的悬浮粒子洁净度等级。该洁净室规定的空气洁净度等级为ISO Class 5（5级）。 D．1．2

规定了2个被考虑粒径：0.3μm (D1)和0.5(D2) μm

a)2个粒径都在ISO Class 5的粒径范围之内，（见3.3c）和表1:0.1μm≤0.3μm,0.5μm≤5μm b)被考虑的二个粒径是否符合粒径比要求，D2≥1.5 X D1（见3.3c）:0.5μm≥(1.5 X 0.3μm=0.45μm), 是符合的。 D．1．3

按照公式（1）计算最大允许悬浮粒子浓度 ≥0.3μm(D1)的粒子

2.08

0.1

Cn=

0.3

四舍五入为10200pc/m3 ≥0.5μm (D2)的粒子

×105=10176

(D.1)

0.1 Cn=

0.5

四舍五入为3520 pc/m3 D．1．4

采样点数按公式计算

2.08

×105=3517

(D.2)

NL=A==8.94(取9)

(D.3)

因此，最少采样点数为9个。由于采样点数少于10，按附录C计算95%置信上限是适用的。 D．1．5

单次采样量Vs以升计，按公式（B.2）计算（见B.4.2.1）

Vs= =

20

×1000Cn.m

20

×10003517 =5.69l

(D.4)

结果大于2L，选择的采样量为28L/min的采样仪器（离散粒子计数和光散射仪器通用

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