第6章 金属薄膜材料(5)

1. 金属薄膜概述薄膜材料是什么？ 薄膜材料是什么？是人们采用特殊的方法，在体材料的表面沉积或制备 是人们采用特殊的方法， 的一层性质与体材料性质完全不同的物质层。 的一层性质与体材料性质完全不同的物质层。它是一种二 维的物质形态。 维的物质形态。

薄膜材料有哪些优点？ 薄膜材料有哪些优点？(1) 实现微电子器件和系统微型化的最有效的技术手段； 实现微电子器件和系统微型化的最有效的技术手段； (2) 薄膜材料尺寸减小到接近量子化运动的微观尺度，显 薄膜材料尺寸减小到接近量子化运动的微观尺度， 出许多全新的物理现象； 示 出许多全新的物理现象； (3)薄膜材料可以将各种不同的材料复合在一起，构成具有 薄膜材料可以将各种不同的材料复合在一起， 薄膜材料可以将各种不同的材料复合在一起 优异特性的复杂材料体系。 优异特性的复杂材料体系。

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