第6章 金属薄膜材料(10)

2. 金属薄膜的形成机理

a. 奥斯瓦尔多吞并 b. 熔结 c. 岛的迁移 奥斯瓦尔多吞并和熔结方式的驱动力为表面自由能降低； 奥斯瓦尔多吞并和熔结方式的驱动力为表面自由能降低；奥斯瓦尔多吞并 并和熔结方式的驱动力为表面自由能降低 为气相扩散，吞并的是气相原子；熔结方式主要是表面扩散 主要是表面扩散。 为气相扩散，吞并的是气相原子；熔结方式主要是表面扩散。 岛的迁移的驱动力来自于热激活过程。原子团越小，激活能越低， 岛的迁移的驱动力来自于热激活过程。原子团越小，激活能越低，原子团 的驱动力来自于热激活过程 的迁移越容易。原子团的运动导致原子团的相互碰撞与合并。 的迁移越容易。原子团的运动导致原子团的相互碰撞与合并。

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