3. 金属薄膜的结构生长应力： 生长应力： 由于薄膜沉积过程特点所造成的应力。 由于薄膜沉积过程特点所造成的应力。是从薄膜总应力中去 除热应力部分后剩余的应力总和。 除热应力部分后剩余的应力总和。 生长应力的影响因素： 生长应力的影响因素： 沉积后薄膜中的化学反应(原子进入和离开薄膜产生应力) 沉积后薄膜中的化学反应(原子进入和离开薄膜产生应力) 沉积薄膜的空洞引发应力； 沉积薄膜的空洞引发应力； 空洞引发应力 薄膜组织的回复和再结晶产生应力； 薄膜组织的回复和再结晶产生应力；
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