第6章 金属薄膜材料(11)

2. 金属薄膜的形成机理决定金属薄膜结构的条件？(1)薄膜原子与基片之间的相互作用力； )薄膜原子与基片之间的相互作用力； (2)薄膜原子与薄膜原子相互之间的作用力； )薄膜原子与薄膜原子相互之间的作用力； (3)蒸发时基片的温度：对蒸发原子在基片上附着和移 )蒸发时基片的温度： 动有显著影响。基片温度越高，金属薄膜易内部凝聚， 动有显著影响。基片温度越高，金属薄膜易内部凝聚， 每个小岛的开头就越接近于球形，不易形成连续结构。 每个小岛的开头就越接近于球形，不易形成连续结构。 (4)蒸发速率：蒸发速率越快，岛的密度越大(致密 )蒸发速率：蒸发速率越快，岛的密度越大( ),越早出现有边疆的金属薄膜 越早出现有边疆的金属薄膜。 度),越早出现有边疆的金属薄膜。

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