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青岛大学物理科学学院
第七章
光学薄膜性能监测技术
7.1 光谱分析测试系统的基本原理
单 光源 照明光 学系统 色 仪 样品池 单 色 仪 传感器 处理 系统
光源:稳压电源、可见(钨丝灯或卤钨灯)、紫外(氙灯)、红外(卤钨灯); 照明系统:光束整形与会聚; 单色仪:由
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