第7章-光学薄膜性能监测技术(4)

青岛大学物理科学学院

第七章

光学薄膜性能监测技术

7.1 光学薄膜性能监测技术-透射和反射

透射率和反射率是光学薄膜器件的最基本的光学特性，因此 薄膜反射率和透射率测试是光学薄膜的基本测试技术； 薄膜透射率与反射率主要是采用光谱测试分析仪进行测试； 光谱仪：按照波段不同划分为

紫外－可见分光光度计：采用光谱分光原理测试； 红外分光光度计：采用光谱分光原理测试； 红外傅立叶光谱仪：采用干涉原理进行测试；

根据薄膜器件几何结构与形状、尺寸、偏振选择测试方法；

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