第7章-光学薄膜性能监测技术(3)

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青岛大学物理科学学院

第七章

光学薄膜性能监测技术

第7章光学薄膜性能监测技术

薄膜器件透射光谱测试；薄膜器件反射光谱测试；光学损耗(吸收和散射)检测技术；薄膜抗激光损伤阈值的测试技术；薄膜光学参数(n和d)测试；非光学参数(硬度、应力)测试技术；

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