MEMS传感器在手机上的应用(7)

MEMS

1、MEMS理论基础在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世 界基本的物理规律仍然起作用，但由于尺 寸缩小带来的影响(Scaling Effects), 许多物理现象与宏观世界有很大区别，因 此许多原来的理论基础都会发生变化，如 力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观 摩擦机理等，因此有必要对微动力学、微 流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学 和微结构学进行深入的研究。

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