MEMS
三、MEMS研究内容MEMS技术的目标是通过系统的微型化、 集成化来探索具有新原理、新功能的元件 和系统。MEMS技术是一种典型的多学科 交叉的前沿性研究领域,几乎涉及到自然 及工程科学的所有领域,如电子技术、机 械技术、物理学、化学、生物医学、材料 科学、能源科学等。其研究内容一般可以 归纳为以下三个基本方面。
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