MEMS传感器在手机上的应用(5)

MEMS

尺度范围跨度比较： MEMS的尺度约为病毒(80nm)到花生(2cm) 范围，其尺寸跨度与珠穆朗玛峰(8km)到花 生(2cm)相当。

NEMS MEMS Microtechnology Nanotechnology [1cm,0.1μm] <100nm

km 珠穆朗玛峰 8km

m 人类 1.7m

mm 蚂蚁 3mm 头发 75μm

μm 细胞 5μm

nm 原子 0.1nm

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