EBSD电子背散射衍射(5)

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EBSD

EBSPs的产生条件固体材料，且具有一定的微观结构特征——晶体–电子束下无损坏变质–金属、矿物、陶瓷–导体、半导体、绝缘体试样表面平整，无制样引入的应变荧光屏层——10’s nm 足够强度的束流——0.5-10nA 高灵敏度CCD相机样品倾斜至一定角度(~70度) CCD相机

极靴

样品

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