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EBSD电子背散射衍射(13)

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EBSD

EBSD的研究范围材料表面深度< 10’s nm EBSD的空间分辨率 -同电子束束斑大小直接相关 -FEG SEM<100nm -Tungsten SEM<500nm EBSD的角度分辨率 X-ray、EBSD和TEM

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