光伏电池评价报告 - 图文(3)

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法，通常用涂源面作为前结，对于三氯氧磷液态源及其它气体携带法扩散，可选取表观较好的一面为前结。在硅片背面形成的p-n结称为背结，光照时背结的存在将产生与前结相反的光生电压。对于常规的非卷包式电池来说，硅片周边的扩散层和周边扩散层出去。 2.4.1.4等离子刻蚀

扩散完后，为了将边缘的PN结去掉，通常采用等离子刻蚀。 2.4.1.5去磷硅玻璃 (PSG)

该工序是对刻蚀后硅片上的磷硅玻璃用氢氟酸腐蚀的方法进行清除。

2.4.1.6等离子化学气相沉淀（PECVD）

PECVD被使用在硅片上沉积氮化硅材料，是在400℃的温度下通过物理化学反映产生SiNx:H的过程

等离子体的激励频率对Si-SiNx:H的界面特性影响大。主要原因是等离子体的频率低于4MHz时，离子运动能够跟上等离子体的激励频率，离子在电场的作用下具有较大的能量，从而对器件表面造成大的轰击损伤，因此低频直接PECVD法沉积的SiNx:H薄膜紧紧对器件表面能够提供中等质量的表面钝化，而且这样的表面钝化层在紫外光照射下性能不稳定。但当等离子体的频率大于4MHz时，由于加速周期短，离子吸收的能量小，不至于对器件表面造成大的轰击损伤，因此当电磁场的激励频率为高频时，用直接PECVD法在晶体硅太阳电池迎光面沉积的纳米SiNx:H减反射膜具有较好的表面钝化作用和较好的抗紫外性能。

对远距PECVD法来说，等离子体的激励区和放样品区是分开的，等离子体的激励可以在真空室外进行，被激励的气体通过窄的石英管引导样品表面，远距PECVD法的有点是具有较高的沉积速率，这有利于提高生产效率。ISFH的研究表明：对晶体硅太阳电池来说，不管是高频直接PECVD法还是远距PECVD法都能够制备出性能优良且稳定的纳米SiNx:H减反射膜。

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PECVD法沉积的SiNx:H薄膜对硅片表面有很好的钝化作用，能使晶体硅太阳电池的表面复合速率降至10cm/s左右，这使获得开颅电压超过650mv成为可能，2.0－2.1的折射率也有效地减小了光学反射，且给予SiNx:H减反射膜之上地烧穿工艺不仅免去了电池焊接中的ARC工艺，而且SiNx:H中大量的原子氢也会扩散到SiO2/Si界面，饱和了悬挂键，减少了态度密。 2.4.1.7丝网印刷

该工序是过丝网印刷机将银浆或银铝浆等导电材料印刷在硅片上，作为太阳能电池的正负电极和背场。 2.4.1.8烧结

该工序通过高温合金的过程，使硅片上的电极合金化。 2.4.1.9测试分档

成品电池按电性能进行测试分档。

硅片受入 清洗 制绒 磷扩散（PN） 丝网印 PECVD 去PSG（HF） 等离子刻蚀 烧结 分类检测 包装

出货 图：2-1本项目生产工艺流程

2.4.1.10污水（中和）处理

本项目生产产生的含酸含碱废水通过管道输送至公用工程厂房的废酸和废碱槽，通过中和槽进行中和处理。废碱量不足时使用氢氧化钙，氢氧化钙与氢氟酸和盐酸反应生成氟化钙和氯化钙，反应物做定时清理。污水中和处理达标后进入XX污水处理站。

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2.4.2拟采用的生产设备

表2－3 国内采购设备表

外形尺寸 序号 一 1 2 3 4 5 工序 主要生产设备 绒面检查 高温扩散 台、石英件） 石英管清洗槽 方块电阻测试 边缘PN结腐蚀 （装片工作台） PN结去除效果6 测试 7 8 9 10 二 1 2 3

处理装臵 膜厚测试 硅片包装 区PSG（HF） 椭偏仪 包装机 去磷硅玻璃设备 合计 辅助生产设备 去离子水站 净化空调 液氧罐、液氮罐、废水废气 各1 桌面办公型 3×0.8×1.2 9 9 9 117 1 1 冷热二探针测试仪 桌面办公型 9 1.2 四探针测试仪 等离子体刻蚀机 3.1 桌面办公型 1.2×1.1×36 9 9 金相显微镜 扩散炉及净化台（撞骗工作设备名称 (m×m×m) 6.4×1.3×18 （台/套） 数量 9

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表2－4国外进口设备表

序 工序 设备名称 (m×m×m) （台/套） 外形尺寸 数量 生产厂家 号 1 2 3 4 绒面腐蚀清洗工作绒面制作 台（装片工作台） PECVD（装片工作 9 捷克svcs公司 6.4×1.39 ×2.3 德国Roth@Rau公司 涂镀减反射膜 台） 丝网印刷、烘丝网印刷机 干、测试、分档 烧结 合计 烧结炉 9 意大利Baccini公司 9 36 美国DESPATCH公司

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3 类比调查 3.1类比企业概况

类比企业地址：晶龙集团宁晋县产业园区。

类比性质：不同地区相似生产性质的企业作为类比。 类比项目投产年月： 2005年。 产品方案及规模：

（1）单晶硅棒：单晶炉100台，由于受电力等因素的影响，至今开展生产的60台，年产200余吨；

（2）硅片：日产9万片(125×125mm)； （3）太阳能电池片：年产75MW太阳能电池片； （4）太阳能电池组件：年封装75MW太阳能电源板。 类比企业工人数：现有员工约3000名。

3.2类比的可比性分析

表3-1 拟评价的拟建工程与类比工程可比性对照表

项目类别 名 称 项目地点 类比工程 晶龙集团宁晋县太阳能生产厂区 拟建工程 XXXX太阳能电力股份有限公司300MW光伏电池片项目 XX经十东路8168号XX科技园 宁晋县产业园区 单晶硅棒以单机自动化作业为自动化程度 光伏电池片以自动化流水作业主，硅原料清洗是手工作业；硅为主，清洗机采用超声方法自动片生产类似机械加工作业，切割对硅片表面可能玷污的杂质进机是单机自动化生产；太阳能电行清洗；部分岗位为手工操作。 池片以自动化流水作业为主，部分清洗流水线为手工操作；太阳能电池组件以手工作业为主，人工焊接封装 单晶硅棒、硅片、太阳能电池片、光伏电池片 太阳能电池组件 单晶硅棒：200吨/年 产品 设计年生产300MW光伏电池片。 生产规模 硅片： 1989万片/年(125×125mm) 太阳能电池片：75 MW 太阳能电池组件：75 MW 生产区域分布 单晶硅棒、硅片、太阳能电池片、生产车间内分为生产及空调区，区 第 15 页 共 36 页

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