显示器件设计制作实验报告(8)

ACS-4000-C4型多功能磁控溅射仪、金相显微镜、丝网印刷设备、HGL-650型传送带干燥炉、N6705电源分析仪、高压电源、真空实验装置等。

五、实验内容

1、实验准备：学习完成平板玻璃的清洗与退火处理

2、器件电极制作：学习磁控溅射，光刻原理和应用，完成器件电极的制作

3、导电薄膜制作：学习导电薄膜材料的选择和导电薄膜的制备方法，完成导电薄膜的制作

4、阳极荧光板的制作：了解丝网印刷原理，学习阳极荧光板的制作

5、电子发射性能测试：正确使用真空测试系统，完成电子发射的电形成工艺、激活工艺及测试工艺。对测试的数据进行分析讨论

6、器件封接：学习阴极板和阳极板的封接，了解封接原理和过程（观察实验）

六、实验过程

1、玻璃清洗与退火

检查玻璃及刻字

将用于制作阴阳极板的玻璃基片在洗涤中浸泡20分钟

带上橡胶手套用海绵仔细清洗3-5分钟，直到洗去玻璃基片表面污渍

用清水将玻璃基片上的清洗液冲洗干净，然后用压缩空气吹干玻璃基片表面水渍

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