显示器件设计制作实验报告(5)

6、透明导电膜的制作

透明导电膜具有透明和导电双重功能，主要分为：金属膜、氧化物膜、多层复合膜和高分子膜等，其中氧化物膜占主要位置。

氧化物薄膜的制备原理主要分为两种替位掺杂和制造氧空位，主要研究为掺锡的氧化锢或氧化锢锡薄膜，简称ITO薄膜。它是一种重掺杂、高简并n星半导体，迄今带宽度介于3.5~4.3ev之间买最大载流子浓度为1021cm-3，具有低电阻率、高透射率、红外高反射比、良好的化学稳定性、玻璃基体结合牢固、抗擦伤及其半导体特性的有点，广泛应用于太阳能电池、显示器、气敏元件、透明电极、抗静电涂层等领域。

7、 ITO制备方法主要有：磁控溅射、化学气相沉积、溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积等，其中磁控溅射音可以春却控制工艺参数成为首选，本实验利用印刷荧光材质来制作SED阳极板。

8、丝网印刷技术

丝网印刷技术是厚膜技术中最重要的成膜技术，虽然厚膜成膜方

面已经出现了等离子体喷涂、光刻、印贴工艺和直接描绘技术，但丝网印刷仍然是目前最常用、最基本的成膜方法。

丝网印刷是将丝织物、合成纤维织物或金属丝网绷在网框上，采用手工刻漆膜或光化学制版的方法制作丝网印版。也可以利用感光材料通过照相制版的方法制作丝网印版（使丝网印版上图文部分的丝网孔为通孔，而非图文部分的丝网孔被堵住）。印刷时通过刮板的挤压，使油墨通过图文部分的网孔转移到承印物上，形成与原稿一样的图文。丝网印刷设备简单，操作方便，印刷、制版简单且成本低廉，适应性强。

丝网印刷一般分为接触式和非接触式印刷两种。厚膜电路制造厂商一般采用非接触式印刷。

影响丝网印刷质量的工艺变量有很多种，如：

浆料（油墨）：必须要有良好的透过性能，应当流动性大粘度低转移到承印物之后的干燥性能及附着性能好。变量包括颗粒细度、颗粒分散程度、粘度、流动性、附着性能、干燥/固化速度。

丝网：印刷的基础，选择好的丝网，才能提高印品的精度和质量。变量包括材料、丝径大小、丝网目数等。

模板：模板是形成非图像区域的成分。决定图像载体即印版的质量及其耐用性。

刮墨板（刮刀）：使丝网印版与承印物接触，协助控制浆料在承印物上的附着量。变量有刮墨板的硬度、刃口锐度、角度、运行速度、压力。

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