显示器件设计制作实验报告(7)

离子在电磁场中的运动。

2） 通过捕获方法吸掉气体分子，使之暂时或永久留在泵内。所用

原理有：（a）电离效应；（b）物理化学吸着。

获得真空后需要一个量具来量度系统内绝对压力的大小，称之为真空计或真空规。目前真空规的种类很多，每一种只能测量一定范围内的真空度，大体可分为三类：①力学型：直接测量物理量所得，量程在760-1torr，属于绝对真空计；②热导型：热传导随压强的升高而减小的特性；③电离型：离子流随压强的升高而增大。②③两类均与气体的种类有关，其读数是气体种类的函数。

本次试验中，共三处用到真空设备：磁控溅射镀膜，电子发射性能测试和器件封装。

四、实验材料仪器

1. 实验材料:玻璃基板、ITO玻璃、氢氧化钠、硫酸高铈、光刻胶、酒精（无水乙醇）、硝酸、PSG-P1荧光浆料等。

2. 实验仪器：有盖搪瓷方盘、烧杯、玻璃搅拌棒、托盘天平、KW-4A型旋转甩胶机、LC-233型控温烘箱、W-SP-4860A型紫外曝光机、

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