µç²ÄÁϵ춨ÁËÁ¼ºÃ»ù´¡¡£
3ÄÉÃ׽ṹ°ëµ¼Ìåµç¼«µÄ¹âµçÄÜÁ¿×ª»»
Ì«ÑôÄܹâµç»¯Ñ§×ª»»Ñо¿µÄ»Ø¹ËÓëÕ¹Íû
¾ÅÊ®Äê´úÒÔÀ´Ëæ×ÅÄÉÃ׽ṹ°ëµ¼Ìå²ÄÁϵķ¢Õ¹£¬ÎªÐÂÒ»´ú¹âµçת»»²ÄÁϵÄÑо¿Ö¸Ã÷ ÁË·½Ïò¡£°ëµ¼ÌåÄÉÃ׽ṹ²ÄÁϾßÓв»Í¬ÓÚÌå²ÄÁϵÄһЩ¹âѧ¡¢µçѧÌØÐÔ£¬¶Ô¹âµç»¯Ñ§ÄÜÁ¿×ª»»¹ý³Ì²úÉúÖØÒªµÄÓ°Ï죬Ëæ×ÅвÄÁϵÄÒý½ø£¬Ïà¹ØµÄиÅÄî¡¢ÐÂÀíÂÛºÍм¼ÊõÒ²´ó´ó³äʵÁË°ëµ¼Ìå¹âµç»¯Ñ§Ñо¿ÄÚÈÝ£¬³ÉΪµ±Ç°¹âµç»¯Ñ§Ñо¿ÖÐ
×îΪ»îÔ¾µÄÒ»¸öÐÂÁìÓò£¬°ëµ¼Ìå¹âµç»¯Ñ§µÄÑо¿½øÈëÁËÒ»¸öн׶Ρ£
3.1³¬¾§¸ñÁ¿×Ó½×°ëµ¼Ìåµç¼«
³¬¾§¸ñÁ¿×Ó½×°ëµ¼ÌåÊÇÓÉÁ½ÖÖ²»Í¬µÄ°ëµ¼Ìå²ÄÁϽ»ÌæÉú³¤ºñ¶ÈΪ¼¸µ½¼¸Ê®Ô×Ó²ãµÄ ³¬±¡²ã£¬ÐγÉÒ»¸ö±ÈÔ¾§¸ñ´óÈô¸É±¶µÄÐÂÖÜÆڽṹµÄÈ˹¤°ëµ¼Ì徧Ìå¡£³¬¾§¸ñÁ¿×ÓÚå°ëµ¼Ìåµç¼«¾ßÓжÀÌصľ§Ìå½á¹¹ºÍÓÅÓÚÌå²ÄÁϵĹâµçÌØÐÔ£¬È缤×Ó¶þάÔ˶¯ÊÜÏÞ£¬²»½öÊÙÃü³¤¶øÇÒ¹âÎüÊÕÐÔÄÜÇ¿£¬ÔÚÏàͬŨ¶ÈÏÂÔØÁ÷×ÓǨÒÆÂʱÈÌå²ÄÁÏ´ó£¬ÈÈÔØÁ÷×ÓÊÙÃü´ó£¬ÔöÇ¿ÁËÈÈÔØÁ÷×ÓЧӦµÈ£¬ÓÐÀûÓÚÌá¸ß¹âµçת»»Ð§ÂÊ£¬¶øÇÒ¿ÉÒÔÔÚµ¥·Ö×Ó²ãˮƽÉÏͨ¹ýÑ¡Ôñ°ëµ¼Ìå²ÄÁϵÄÖÖÀ࣬µ÷½ÚÊÆÀݸ߶ȡ¢ÊÆÚå²ãµÄºñ¶ÈµÈ½á¹¹²ÎÊý£¬Éè¼ÆÉú³¤¸ßÁ¿×Ó²úÂʵij¬¾§¸ñÁ¿×ÓÚåµç¼«¡£ÊµÏÖ¡°ÄÜ´ø¹¤³Ì¡±ÔÚ¹âµç»¯Ñ§ÄÜÁ¿×ª»»ÖеÄÓ¦Óá£Ó÷Ö×ÓÊøÍâÑÓ·¨Éè¼ÆÉú³¤ÊʺÏÓÚ¹âµç»¯Ñ§Ñо¿µÄ¾§¸ñÆ¥ÅäÐÍGaAs£¯A1xGa1-xAsÁ¿×ÓÚåµç¼«£¨Á½ÖÖ°ëµ¼Ìå²ÄÁϵľ§¸ñ³£ÊýÖ®²îСÓÚ1%£©ºÍÓ¦±äÐÍInxGa1-xAs£¯GaAsÁ¿×ÓÚåµç¼«£¨Á½ÖÖ°ëµ¼Ìå²ÄÁϵľ§¸ñ³£ÊýÖ®²î´óÓÚ1%£©£¬Ñо¿ÆäÔÚ·ÇË®ÈÜÒºÖеĹâµçת»»ÐÔÄÜÒÔ¼°Úå¿í¡¢ÀÝ¿í¡¢ÍâÀݼ°ÖÜÆÚµÈÒòËضԹâµçÐÔÄܵÄÓ°Ïì¡£ÔÚÊÒÎÂϹ۲쵽¶ÔÓ¦ÓÚ¼¤×ÓÇ¿ÎüÊյĹâµçÁ÷·å£¬ËæÁ¿×ÓÚå¿í¶È´Ó10nm¼õСµ½5nm£¬Á¿×ÓÚåÄÚÄܼ¶·ÖÀë³Ì¶ÈÔö¼Ó£¬¼¤×Ó¹âµçÁ÷·åÃ÷ÏÔÀ¶ÒÆ£¬³ÊÏÖÏÔÖøµÄ¹âµç»¯Ñ§Á¿×Ó»¯Ð§Ó¦ºÍÇ¿¼¤×Ó¹âÎüÊÕÐÔÄÜ£¬¶øÚå¿í10nmµÄµ¥Á¿×ÓÚå¹âµçÁ÷Á¿×Ó²úÂÊÓëÚå¿í5nmµÄµ¥Á¿×ÓÚåÁ¿×Ó²úÂÊ»ù±¾Ïàͬ£¬±íÏÖ³ö¶þά¼¤×ӵĹâÎüÊÕÓëÁ¿×ÓÚå¿í»ù±¾Î޹صÄÌØÐÔ¡£µ«ÍâÀݺñ¶ÈµÄÔö¼Ó£¬²»ÀûÓÚ¹âÉúÔØÁ÷×ӵĽçÃæµçºÉתÒÆ£¬¼¤×ÓÇ¿ÎüÊÕЧӦÍË»¯¡£ÔÚ¶àÁ¿×ÓÚåµç¼«Öеĸ÷Á¿×ÓÚåÊǶÀÁ¢µØ²ÎÓë½çÃæµçºÉתÒƵģ¬¶àÁ¿×ÓÚåµç¼«µÄÁ¿×Ó²úÂÊ»ù±¾ÉÏ¿ÉÈÏΪÊǸ÷Á¿×ÓÚåµÄ¼Ó
ºÍ¡£ÔÚÒÔÉÏÑо¿µÄ»ù´¡Éϳɹ¦Éè¼ÆÉú³¤ÁË50ÖÜÆÚËÄÖÖ²»Í¬Úå¿íGaAs£¯AlxGa1-xAs¶àÁ¿×ÓÚåµç¼«£¬Æ伤×ÓÎüÊÕ¸²¸ÇÁËÕû¸ö²âÁ¿²¨³¤£¬ÔÚ¶þïÌúÒÒëæÈÜ
ÒºÖÐÁ¿×Ó²úÂÊΪGaAsÌåµç¼«µÄÈý±¶£¬±íÏÖ³öÓÅÁ¼µÄ¹âµçת»»ÐÔÄÜ¡£
ͨ¹ý¶àÖÖ˲̬¡¢ÎÈ̬¼¼ÊõµÄÑо¿µÃµ½²»Í¬ÓÚÌå²ÄÁϵĽçÃæÈÈÁ¦Ñ§ºÍ¶¯Á¦Ñ§ÐÔÄÜ£¬ÈçGaAs£¯AlxGa1-xAsÁ¿×ÓÚåµç¼«ÔÚ·ÇË®ÈÜÒºÖпռäµçºÉ²ãµç³¡·Ö²¼¡ª¡ªÁ¿×ÓÚåÖÐÊÇÔÈÇ¿µç³¡¡£ÄÚÀÝÔòΪ½ÏÀíÏëµÄºÄ¾¡²ãÄ£ÐÍ¡£Á¿×ÓÏÞÖÆStarkЧӦÊÜÈÜÒºÑõ»¯»¹ÔÀë×ÓÓëµç¼«±íÃæÏ໥×÷ÓÃÇ¿ÈõµÄÓ°Ï졣ʵÑé½á¹ûºÍÀíÂÛ¼ÆË㶼±íÃ÷£¬Á¿×ÓÚåµç¼«µÄ±íÃ渴ºÏËÙÂʱÈÌå²ÄÁÏGaAsÂý£¬ÕâÊÇÓÉÓÚÁ¿×ÓÚåÖеĹâÉúÔØÁ÷×ÓÖ÷Ҫͨ¹ýÈÈ·¢Éä½øÐзÖÀ룬ÏÞÓòÔÚÁ¿×ÓÚåÖпÕѨÈÈ·¢Éäµ½¼Û´øÁ¬Ðø´øÄܼ¶µÄʱ¼ä±Èµç×Ó¿ìÊý°Ù±¶£¬Òò´Ë¿ÕѨ½çÃæ·ÖÀëËÙÂÊÔ¶¸ßÓÚµç×Ó¡£ÕâÒ²ÊÇGaAs£¯A1xGa1-xAsµç¼«Á¿×Ó²úÂʸߵÄÒ»¸öÖØÒªÔÒò¡£ÁíÍâGaAs£¯AlxGa1-xAsºÍInxGa1-x /GaAsÁ½ÖÖÁ¿×ÓÚåÔÚ·ÇË®ÈÜÒºÖж¼±íÏÖ³ö¹âÉúÔØÁ÷×Ó½çÃæËí´©µçºÉתÒÆËùµ¼ÖµIJ»Í¬ÓÚÌå²Ä
ÁϵĹâµçÁ÷Ò»µçѹ¹ØϵµÄÒì³£ÐÐΪ¡£
3.2Äɾ§¶à¿×°ëµ¼Ì屡Ĥµç¼«
Äɾ§¶à¿×µç¼«ÊÇÁíÒ»ÀàÑо¿½Ï¶àµÄÄÉÃ׽ṹ°ëµ¼Ìåµç¼«£¬ËüÊÇÓɼ¸ÄÉÃ×µ½¼¸Ê®ÄÉ
Ì«ÑôÄܹâµç»¯Ñ§×ª»»Ñо¿µÄ»Ø¹ËÓëÕ¹Íû
Ã× µÄ°ëµ¼ÌåÄɾ§Á£×Ó×é³ÉµÄ¾ßÓÐÈýάÍøÂç¶à¿×½á¹¹µÄ±¡Ä¤µç¼«£¬±£³ÖÁË°ëµ¼ÌåÄÉÃ׿ÅÁ£µÄÁ¿×ӳߴçЧӦ¡¢±íÃæЧӦ¡¢½éµçЧӦÒÔ¼°Ëùµ¼Ö²»Ñ°³£µÄ¹âµç»¯Ñ§ÐÐΪ¡£³£ÓõÄÍ¿·ó·¨¡¢»¯Ñ§³Á»ý·¨¡¢µç»¯Ñ§³Á»ý·¨¡¢µÈÀë×ÓÌå³Á»ý·¨µÈ·½·¨ÔÚ¿ØÖÆÒ»¶¨Ìõ¼þ϶¼¿ÉÓÃÓÚÖƱ¸Äɾ§¶à¿×°ëµ¼Ì屡Ĥ¡£Ä¿Ç°Ñо¿½Ï¶àµÄÊÇTiO2Äɾ§¶à¿×±¡Ä¤£¬ÓÃÈܽº£Äý½º·¨»òË®ÈÈ·¨ÖƱ¸µÄÄÉÃ×½ºÁ£Ö±½ÓÍ¿·óÔÚµ¼µç²£Á§ÉÏ£¬ÉÕ½áºóÐγÉÁ˱ȱíÃæ¡¢±ÈÌå²ÄÁ϶ྦྷ±¡Ä¤´ó1000±¶µÄÄɾ§±¡Ä¤£¬ÔÚµç½âÒºÖÐÕýÃæ¹âÕձȱ³Ãæ¹âÕյõ½µÄ¹âµçÁ÷С£¬±íÃ÷¹âÉúµç×ÓÔÚ¾ßÓжà¿×ÐÔÖʵÄÄɾ§±¡Ä¤ÖеÄÊäÔËÊÇŨ¶ÈÌݶÈϵÄÀ©É¢ÊäÔË»úÖÆ£¬¶ø²»ÊÇÌå²ÄÁϵ缫ÔÚ¿Õ¼äµçºÉµç³¡Çý¶¯Ï½øÐеçºÉÊäÔË¡£ÔÚ¾¹ýTiCl4ºÍHCl±íÃæ¸ÄÐԺ󣬹âµçÐÔÄÜÃ÷ÏÔ¸ÄÉÆ£¬±íÃæ̬ÃܶȵÄ
¼õСºÍµç×ÓÊäÔËͨµÀµÄ¸ÄÉÆÊÇÖ÷ÒªÔÒò¡£
Óû¯Ñ§³Á»ýºÍµç³Á»ý·¨ÖƱ¸Æ½¾ùÁ£¾¶Îª¼¸¸öÄÉÃ×µ½Ê®¼¸ÄÉÃ×µÄCdSeºÍCdTeÄɾ§±¡Ä¤£¬ÔÚ¶àÁòÈÜÒºÖеõ½µÄ¹âµçÁ÷Æ׳ÊÏÖ¹âµçÁ÷Æðʼ²¨³¤ËæÄɾ§Á£¾¶¼õС¶øÀ¼ÒƵÄÁ¿×ӳߴçЧӦ¡£Ë²Ì¬¹âµçÁ÷ºÍ¹âµçѹÆ×Ñо¿Á˹âÉú¿ÕѨºÍµç×ÓÀ©É¢¿ØÖƵĽçÃ涯Á¦Ñ§»úÖÆ£¬ÓÉÓÚÄɾ§Á£¾¶Ð¡Æä½çÃæ²»´æÔÚ¿Õ¼äµçºÉ²ã£¬¹âÉúµçºÉµÄ·ÖÀëÖ÷ÒªÒÀÀµÓÚ¹âÉú¿ÕѨºÍµç×Ó½øÐнçÃæÑõ»¯»¹Ô·´Ó¦µÄËٶȲî±ð£¬Òò´ËÓëÌå²ÄÁϵ缫µÄ½çÃæµçºÉתÒÆÐÐΪÖ÷Òª²»Í¬Ö®´¦ÊǽçÃ渴ºÏËٶȽϴ󣬶øÇÒ´æÔÚמ¹ý±íÃæ̬µÄ¼ä½ÓµçºÉתÒƹý³Ì¡£ÁíÍ⻹ÓñíÃæ¹âµçѹÆ×Ñо¿ÁËCdS¡¢Fe2O3¡¢Nb2O5£¬µÈÄɾ§±¡
ĤµÄ¹â·üÌØÐÔ¡£
4Óлú£¯ÄÉÃ×°ëµ¼Ì帴ºÏ±¡Ä¤µÄ¹âµç»¯Ñ§Ì«Ñôµç³Ø
ÔÚÄÉÃ׽ṹ°ëµ¼ÌåºÍÓлú¹âÃôȾÁÏÐÂÐ͹âµç¹¦ÄܲÄÁÏ·¢Õ¹µÄ»ù´¡ÉÏ£¬½«¶þÖÖ²ÄÁÏ µÄ²»Í¬¹âµç¹¦ÄÜÌØÐÔ½øÐÐÓлúµÄ½áºÏ£¬Í¨¹ýȾÁÏ·Ö×ÓµÄÎü¸½¹¦ÄÜ»ùÍÅÓëÄÉÃ×°ëµ¼ÌåÏ໥×÷Óã¬Ê¹È¾ÁÏ·Ö×ÓÓëÄÉÃ×°ëµ¼Ìå±íÃæÖ®¼ä½¨Á¢µçÐÔñîºÏ£¬ÓÐЧµØ´Ù½øÁ˵çºÉתÒÆ£¬ÐγÉÓлú£¯ÄÉÃ×°ëµ¼Ì帴ºÏ¹âµç¹¦ÄܲÄÁÏ¡£¸´ºÏ¹âµç¹¦ÄܲÄÁÏÓÐÀûÓÚʵÏÖ¹âµç¹¦ÄÜÌØÐÔµÄÓÅÊÆ»¥²¹£¬ÓÅ»¯×éºÏ£¬ÕâÑùÎÞÒÉ»á´øÀ´²»Í¬ÓÚ³£¹æ²ÄÁϵÄÐí¶àÓÅÒìÐÔÄÜ¡£Èç³ä·Ö·¢»ÓÓлú¹âÃôȾÁϵÄÌìÏß×÷ÓÃÄÜÁ¿×ªÒƱ¾Á죬´ïµ½¹ãÆײɼ¯Ì«Ñô¹âÄÜ£¬ÄÉÃ×°ëµ¼Ìå¹¹ÔìµÄÈýάÍøÂç¶à¿×΢½á¹¹¿ÉÒÔÌṩ×ã¹»´óµÄÈÝÁ¿×°ÔØÓлúȾÁÏ·Ö×Ó£¬²¢¾ßÓиßЧÊÕ¼¯ºÍÊäÔ˵çºÉµÄÌØÐÔ¡£¶øÇÒÓлú·Ö×ÓÉè¼ÆºÏ³ÉºÍÁé»îÐÔÒÔ¼°ÄÉÃ×°ëµ¼Ìå¼¼ÊõµÄ²»¶Ï´´Ð£¬Òò´ËÔÚ¼¼Êõ·¢Õ¹ºÍÐÔÄÜÌá¸ßÉ϶¼ÓкܴóµÄDZÁ¦¡£ÌرðÊÇÔ²ÄÁϱãÒË¡¢ÖÆÔ칤ÒÕ¼òµ¥£¬Ôڵͳɱ¾¡¢µÍ¼Û¸ñ·½ÃæÓÐÍ»³öµÄÓÅÊÆ¡£Ä¿Ç°ÒÔÁªßÁà¤îÉÑÜÉúÎ¶þÑõ»¯îÑÄɾ§¸´ºÏ±¡Ä¤Îª»ù´¡µÄÌ«Ñôµç³Ø×÷Ϊ·¢Õ¹µÍ¼Û¸ßЧ¿ÉʵÓÃÐԵĹâ·üµç³Ø£¬ÊǹúÄÚÍâÑо¿ºÍ¹Ø×¢µÄÒ»¸öÈȵ㡣¹úÄÚµÄÄɾ§°ëµ¼
Ìå¹âµç»¯Ñ§µç³ØÑо¿×Ô1994ÄêÒÔÀ´ÔÚÒÔÏ·½ÃæÈ¡µÃºÜ´ó½øÕ¹£º
£¨1£©ÍØ¿íÓлú¹âÃôȾÁϵĹâÆ×ÏìÓ¦£¬Ìá¸ß²É¹âЧÂÊ
ÁªßÁà¤îÉÑÜÉúÎï²É¼¯400£600nm²¨³¤ÇøµÄ¿É¼û¹âÄÜ£¬´óÓÚ600nm³¤²¨ÇøµÄ¹âÄÜÎüÊÕÂʺܵͣ¬ÕâÊÇÓ°Ïì¸Ãµç³Ø¹âµçת»»Ð§ÂʵÄÒ»¸öºÜÖØÒªÒòËØ¡£Ñ¡ÔñÔÚ£¾600nm³¤²¨ÇøÓÐÇ¿ÎüÊյķ½Ëáݼ»¯ºÏÎʹÆäÓëÁªßÁà¤îÉÑÜÉúÎï½øÐпɼû¹â²¨³¤µÄ»¥²¹ÎüÊÕ´ïµ½ËüÃǶÔÄɾ§TiO2±¡Ä¤µÄÐͬÃô»¯×÷Óá£ÒÔßÁà¤ÑÎÈ¡´úµÄ·½Ëáݼ»¯ºÏÎï¶ÔÄɾ§TiO2±¡Ä¤ÓнÏÇ¿µÄÎü¸½ÐÔÄÜ£¬Æ伤·¢Ì¬µç×ÓÄÜ×¢ÈëÄɾ§TiO2£¬µ¼´ø£¬ÔÚ600£700nm²¨³¤Çø²úÉú¹âµçÏìÓ¦£¬ÔÚÓëÁªßÁà¤îÉÑÜÉúÎïºÏÊʵĻìºÏŨ¶È±ÈÀýÌõ
°Ù¶ÈËÑË÷¡°77cn¡±»ò¡°Ãâ·Ñ·¶ÎÄÍø¡±¼´¿ÉÕÒµ½±¾Õ¾Ãâ·ÑÔĶÁÈ«²¿·¶ÎÄ¡£Êղر¾Õ¾·½±ãÏ´ÎÔĶÁ£¬Ãâ·Ñ·¶ÎÄÍø£¬Ìṩ¾µäС˵¹«ÎñÔ±¿¼ÊÔÌ«ÑôÄܹâµç»¯Ñ§×ª»»Ñо¿µÄ»Ø¹ËÓëÕ¹Íû[1](3)ÔÚÏßÈ«ÎÄÔĶÁ¡£
Ïà¹ØÍƼö£º