基于ZnO的异质结的组建及其光电性能研究(10)

洞南大学微电Ｆ学与州体电予学专业２００７级硕士学位论文

增大，薄膜的带隙可减小至３．１１ｅＶ［１１】。我们可以通过不同元素的掺杂实现对ＺｎＯ禁带宽度的连续调节以实现不同的应用需要。

１．３．２可见光区透过率高

ＺｎＯ在紫外光区有较强的吸收，但在可见光区的透过率可高达９０％。可用于制作透明的光电子器件。沉积在石英衬底上的ＺｎＯ薄膜样品与其基材石英玻璃片透射率的比较，沉积在石英上的ＺｎＯ薄膜的透射率均大于石英的透射率，最大可提高２．３％。由此可知制备出的ＺｎＯ薄膜已经在一定程度上起到了增透膜的作用，这一结果有望在太阳能电池中得到应用。

１．３．３紫外发射强

ＺｎＯ的发光特性是人们研究的重点。通常ＺｎＯ薄膜的光致发光可分为带边紫外发光和深能级发射。紫外发射较强，是由激子复合产生的，发光范围一般都３７０ｎｍ左右。而深能级发射是与ＺｎＯ的结构缺陷和杂质密切相关的，一般在４６０．５２０ｎｍ。提高薄膜的结晶质量可以抑制深能级发射，通常可以根据紫外发射峰的强度和深能级发射峰的强度的比值来表征ＺｎＯ的结晶质量和发光特性，该值越大，薄膜质量越高，发光性能越好‘１２，１３１。

１．３．４导电性好

由于ＺｎＯ薄膜中存在本征施主缺陷，如间隙Ｚｎ原子、Ｏ空位等，使得ＺｎＯ薄膜天然呈弱ｎ型导电。因此ＺｎＯ薄膜的电阻率一般较高，在１０。２Ｑ ｃｍ数量级。但通过调整生长、掺杂或退火条件可形成简单的半导体薄膜，导电性能大幅提高，电阻率可降低到１０。４Ｑ ｃｍ数量级。特别是Ａ１、Ｇａ、Ｉｎ等元素的掺杂，可以大大提高ＺｎＯ的导电性能。掺铝ＺｎＯ薄膜（ＺＡＯ）具有同ＩＴＯ膜可比拟的光学电学性质，可在光电显示领域用作透明电极。

１．３．５光电性能好

ＺｎＯ是一种极好的光电材料，随着人们对ＺｎＯ的深入研究，发光二极管【１４－１６１，紫外探测器【１７－１９１，激光器【２０１，场效应晶体管【２１，２２１，太阳能电池∞，２４】等一些基于ＺｎＯ的光电器件已经得到了广泛的研究，并取得了一定的进展。

百度搜索“77cn”或“免费范文网”即可找到本站免费阅读全部范文。收藏本站方便下次阅读，免费范文网，提供经典小说教育文库基于ZnO的异质结的组建及其光电性能研究(10)在线全文阅读。