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ZEISS SUPRA 55扫描电子显微镜操作规程模版(4)

来源:网络收集 时间:2021-04-05 下载这篇文档 手机版
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卡尔蔡司ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜安全操作使用规程模版

注意:舱门上O圈有时会脱落,关门时勿夹到异物。

8、 抽真空。

点击Pump,等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)。

等待过程中,可先移动样品台初步定位样品。

9、 换样完成。

加高压,观察样品

三、成像初步

1、 定位样品。

打开TV,移动样品台。升至工作距离约在5~10mm处,平移对准样品。可打开stage navigation帮助定位。

2、 开高压。

根据检测要求和样品特性,设定加速电压;

3、 观察样品,定位观察区。

全屏快速扫描(点击工具栏上 );

选择Inlens或SE2探头;

缩小放大倍数至最小;

聚焦并调整亮度和对比度(Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine);

读取WD数值;

必要时升降样品台,WD常用5~10mm;

移动样品台X、Y,或使用Centre Point(Ctrl+Tab键)定位;

聚焦、放大至~5kX、再聚焦、定位;

4、 必要时,调光阑对中。

选区快速扫描, Aperture面板上,选上Wobble,调Aperture X和Y,消除图像水平晃动。完成后取消Wobble。

5、 消像散。

选区扫描,依次调Stigmation X、Y和聚焦,直到图像最清晰。

6、 成像。

进一步放大至~50kX、并进一步聚焦和消像散;

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