卡尔蔡司ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜安全操作使用规程模版
注意:舱门上O圈有时会脱落,关门时勿夹到异物。
8、 抽真空。
点击Pump,等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)。
等待过程中,可先移动样品台初步定位样品。
9、 换样完成。
加高压,观察样品
三、成像初步
1、 定位样品。
打开TV,移动样品台。升至工作距离约在5~10mm处,平移对准样品。可打开stage navigation帮助定位。
2、 开高压。
根据检测要求和样品特性,设定加速电压;
3、 观察样品,定位观察区。
全屏快速扫描(点击工具栏上 );
选择Inlens或SE2探头;
缩小放大倍数至最小;
聚焦并调整亮度和对比度(Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine);
读取WD数值;
必要时升降样品台,WD常用5~10mm;
移动样品台X、Y,或使用Centre Point(Ctrl+Tab键)定位;
聚焦、放大至~5kX、再聚焦、定位;
4、 必要时,调光阑对中。
选区快速扫描, Aperture面板上,选上Wobble,调Aperture X和Y,消除图像水平晃动。完成后取消Wobble。
5、 消像散。
选区扫描,依次调Stigmation X、Y和聚焦,直到图像最清晰。
6、 成像。
进一步放大至~50kX、并进一步聚焦和消像散;
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