ZEISS SUPRA 55扫描电子显微镜操作规程模版(3)

卡尔蔡司ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜安全操作使用规程模版

10、 必要时，关墙上空气开关。

烘烤步骤

1、 确认高压(EHT)和灯丝关闭。

2、 拨出高压电线。

先松开四颗螺丝，拔出高压头。

3、 打开监控软件Gun Monitor。

设置监控Gun Vacuum和System Vacuum参数，时间间隔1s。

4、 开始烘烤

菜单栏Tools→go to panel→bakeout，打开Bakeout界面，设定加热时间8～20h，冷却时间设为2h，开始。

5、 烘烤完成

结束后检查枪真空值，一般小于1×10-9mBar。关闭Gun Monitor。插入高压头，锁紧。

二、换样品

1、 装试样。

在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。

注意：各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。

2、 关高压。

3、 检查插入式探测器状态

打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。

4、 放气。

点Vent等待～ 分钟。

注意：确认Z move on vent选上，这样，放气时样品台会自动下降。

5、 拉开舱门。

注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。

6、 更换样品座

注意：抓样品座时戴手套，避免碰触样品。

7、 关上舱门。

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