ZEISS SUPRA 55扫描电子显微镜操作规程模版(2)

卡尔蔡司ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜安全操作使用规程模版

待机状态

1、 关闭高压(EHT)。

2、 关闭SmartSEM软件。

注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。

3、 关Windows。

4、 必要时，关能谱、EBSD。

5、 按下黄键

此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。

待机状态启动

1、 按下绿键。

按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：

2、 启动SmartSEM软件。

用户名： 密码：

3、 检查真空值。

4、 换样或加高压观察样品。

关机步骤

1、 关高压(EHT)和灯丝。

2、 关SmartSEM软件。

注意：分两步，先关用户界面User Interface，后关后台程序EM Server。

3、 关Windows。

4、 关能谱、EBSD。

5、 按下黄键，等待～10秒钟。

等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。

6、 按下红键。

7、 关循环水冷机。

8、 必要时，关氮气总阀门。

9、 必要时，关UPS。

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