集成电路制造工艺台阶覆盖问题(3)

[1]Gary S May(著) 代永平（译）.半导体制造技术 人民邮电出版社 2007年11月第1版

[2]Stephen A.Campbell(著) 曾莹 严利人等（译）.微电子制造科学原理与工程技术 机械工业出版社 2004年2月

[3]严利人 周卫 刘道广.微电子制造技术概论 清华大学出版社 2010年3月第1版

[4] 史小波 曹艳. 集成电路制造工艺 电子工业出版社 2007年 [5]林明祥.集成电路制造工艺 机械工业出版社 2005年9月

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