磁控溅射靶材的根瘤的形成

磁控溅射靶材的根瘤的形成

磁控溅射是由于各种各样的行业，如薄膜太阳能电池，半导体，光学，装饰涂料，耐磨和防腐蚀保护应用的高度重视的技术。 据观察，在过去，在某些情况下，当溅射金属或陶瓷材料，结节表面形成溅射赛马场附近地区（自动转存面积），有时甚至在赛马场区域目标（图1）。 他们通常拥有一个到岗，圆锥或金字塔形状。 结节往往沉积运行收益增长。 最终，他们可以覆盖超过30％的目标的表面区域。 形成结节会带来不同的效果，如溅射速率，溅射原子的角分布的变化，增强电弧放电过程中漂移和不稳定，这反过来缺陷的结果，并导致质量差溅射薄膜。 涂层系统已被关闭经常清洗目标表面结节和碎片。 这会导致非预期的停机时间和降低生产速度。 目标表面上形成结节，因此极不可取的。 尽管这是一个严重的工业问题，一般有什么结果结节的增长，这是很重要的工艺参数的理解缺乏，以及如何解决这个问题。 因此，这篇文章的目的是阐明根瘤的形成机制，对靶材的关键工艺参数和提供解决方案以及一些轻。

图1。 A）扫描电镜图像显示结节形态。 从Lippens等。 [4] B）ITO靶材的黑色结节（图像 - Gencoa有限公司提供）; C）在Si

靶材结节（图像 - Faradox储能公司提供）。

根瘤的生长机制

观察视锥细胞的离子轰击阴极的历史可以追溯到早在1942年[1]。 从那时起，这种现象一直受到学术界和工业界的科学家和工程师的兴趣。 韦纳锥的形成[2]进行了广泛的研究工作。 基于实验证据韦纳的结论，在溅射从另一个源提供的某些杂质原子或原子的极少量可以给离子轰击surfaces.The比种子诱导锥增长所需的主要原子可以上升到种子锥形成低至1 500人，分别为钼 - 铜的情况下证明。 有趣的是，它也表明，种子原子材料具有较低的溅射率，但必须表现出了较高的熔点。 存款锥也可以出现更大的通量是一个较低的熔点金属热的熔点较高的金属，它是离子轰击下存放。 在低离子轰击能量（<1keV，即典型的磁控溅射应用）高温（??的熔点）为种子锥现象发生的重要。 当溅射金属靶材，氧或氮原子的痕迹阻碍表面原子的运动，因此种子锥形成。 离子轰击溅射阈值附近的直单晶晶须，这受到更高的能量轰击时，往往转换成锥增长的结果。 韦纳强调，种子锥晶须生长，吸附原子表面运动和溅射效果之间的相互作用的结果。

溅射靶材料已最常报告的有结节增长的问题是铟锡合金和铟锡氧化物（ITO）[3-9]。 这主要是由于的ITO透明导电氧化物（TCO）镀膜玻璃市场的主导地位。 目前在工业生产的ITO的最高优先事项是实现高溅射速率和过程的稳定性，这两者都是由结节增长的问题而受到损害。

其他目标材料，这种硅和Ti - W [10]，也被报道患有结节增长。

ITO溅射陶瓷目标

陶瓷ITO铟锡合金目标上形成的结节通常是黑色的外观和表现出高电阻率[3，4]。 目标密度与结节增长的现象相当早，这是显著的努力（图2），以增加密度陶瓷的ITO目标[5，11，12]。 密集的目标是提高沉积速率，但仍然坚持结节增长的问题。 奥玛特等公布的结果。 [8]，具有相对密度高于99.5％，但由于当地偏差统一锡离子和氧空位分布不均匀传导电子密度患有结节形成率增加，意味着目标。

图2。Hystorycal ITO靶材密度的提高。 从K.内海善雄等。 [12] 石桥等论文。 [3]和Lippens等。 [4]的状态，在ITO溅射情况下结节增长在很大程度上是相关目标表面上的氧化铟分离成高电阻In2O分氧化物和氧气与Sn作为结节形成的发起人。 结节是不断被涂与再沉积材料。 大衣厚度是几十微米的顺序，它可以将更多的氧气缺乏[6]，可能是由于存款的减少锡[4]比目标表面。 不匀的电气性能和化学成分导致持续增长（扩大）结节期间的生活的目标过程中（即溅射附近的目标侵蚀率更快）。 图3显示原理图截面的一个结

节上的ITO溅射靶。 不均匀的化学成分和电气性能，也导致负责建立，在一定的目标表面地区和电弧。 结节可以破解热应力作用下，或由一个弧形销毁。 结节分手后跟淋浴颗粒，核新一代的结节，从而解释了观察，一旦开始结节加速增长迅速[6]。

图3。示意图截面的一个结节上的ITO溅射靶。 Schlott等。 [6]。 里格等人。 [13]用三维模拟人生审查约100在ITO靶材溅射形成结节。 他们正在寻找杂质，如C，镁，铝，硅，铜，钛和锆。 铜异常，发现杂质分布不均匀。 大部分杂质包括C或铝。 结节的三维深度分析发现，其中大多数是顶级C浓度未受影响的目标表面积相比要高得多。 [13]的作者因此得出的结论是C杂质发挥他们研究的目标结节增长的最重要的作用。

Schlott等人。 [6]用原位视频监控研究在ITO溅射过程根瘤的形成。 他们测试了两个75毫米直径平面的ITO目标没有刹车真空此起彼伏。 令人惊讶的是，他们有溅射第一的目标是覆盖有结节后1小时溅射，而相同的第二个目标，基本上保持结节?4小时。 图4比较了10个小时后长溅射运行的两个目标。 结节数量在近两个数量级的差异进行了观察。 这个例子清楚地表明，结节核的主要来源

之一是来自溅射系统的粉尘和剥落。 洁净室等级提高运作的第一个目标，它允许更长的无结核的第二个目标的操作。

图4。两层ITO目标比较溅射不破坏真空的情况下为10小时此起彼

伏。 Schlott等。 [6]。

再沉积的材料显示，要在两个方面[6]根瘤的形成源：一个结节核再沉积在赛道区和/或附近的赛马场和随后的溅射redeposits）;二）剥落的再沉积材料。 进一步在相同的和其他的研究确定根瘤的形成来源[6，10]：在分段目标（ITO）瓷砖之间的接缝很容易收集灰尘/颗粒，粒子（SiO2的空隙，裂缝，裂纹和污染氧化铝二氧化钛和C）在目标的制造工艺。

中岛和Kumahara的论文[7]报告使用很细的生粉和修改后的混合过程，提供显著SnO2的分布更均匀。 使用这种技术制造的目标被证明是非常不容易根瘤的形成和电弧（图5）。 一个根瘤的形成进一步减少，实现从行业标准的质量分数为10目标减少量的SnO2％至9 WT％[7]。

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