沸石转轮技术综述 - 图文(5)

使用沸石转轮反应器之规格资料

直径（mm） 高（mm） 主体密度（kg/m3） 区域比率（吸附/脱附/冷却） 孔道形状 每平方厘米微孔数 比表面积 吸附剂占基材比重（%） 吸附剂类型 吸附剂硅铝比 吸附剂孔隙（cm3/g） 320 400 250 10:1:1 蜂巢状 42 241 36.66 ZSM-5 166 0.321 （3）热回收设备：将VOCs燃烧或氧化后之干净空气其温度高达500-700℃，将此部分空气经由热交换器将热能加以回收，同时将干净空气温度降低后将其导至转轮脱附区为转轮进行脱附作用；若温度太高则转轮可能发生燃烧，因此进入转轮之温度不可太高，一般会设置两段热回收设备并增设一鼓风机导入新鲜空气与燃烧后之空气混合，以控制脱附温度在180-220℃之范围内。为处理VOCs废气，除了沸石吸附浓缩转轮焚化系统外，并可在制程端如光阻涂布机台或去光阻制程废气出口端加装冷凝器，预先分流处理高沸点VOCs（如MEA、BDG、DMSO）。

四、沸石转轮制备工艺

4.1 活性炭吸附剂简介

一般在选用活性炭时，除须考虑使用类别外，例如：气象或液相之应用，尚须针对处理对象之性质等作特性之考虑。一般而言，在气象应用中，活性炭洗脱附处理以较适合中等分子量中低沸点且疏水性（低极性）化合物，例如：碳氢化合物、醇类（甲醇例外）、有机氯化物、脂肪酸类、酚类、酮类、脂类等活性炭均有很强的吸附能力；但对于硫化氢、二氧化硫、氯、甲醛、氨基酸类等化合物活性炭之吸附能力很差，除非含浸酸或碱级金属盐加以改质，方可达到较好之效果。通常活性炭之参考规格有：比表面积、孔洞体积、四氯化碳吸附值、碘值、含水率等 （一）粒状活性炭

粒状活性炭依形状不同又可分为破碎状、圆柱状及球状等三种，一般来说其吸附能力较粉末活性炭小，但因颗粒尺寸较大较无压力下降之问题，而且具有可以再生的优势，所以一直是使用较为广泛的一种。 （二）纤维活性炭

纤维活性炭系利用酚系、丙烯氰系等原料合成，主要目的是揉和粉末活性炭高表面积、高吸附能力及压降小、可再生之优点，而且具有独特的强度，通常其吸附能力也颇好。一般应用上有固定床式和转轮或转环式，一般来说纤维活性碳的填充重量只有粒状活性碳的1-10%左右，间接减少了碳床累积之着火之危险。

活性碳再生一般以水蒸气脱附再生，若吸附质为含氯VOCs时，采用水蒸气可能会发生水解反应，而使回收之含氯VOCs发生改变，影响脱附产物之纯度及再生活性碳之吸附效能。

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