第三讲器件仿真 - 图文

光电子器件综合设计

-------器件仿真

本讲主要内容

? 器件结构 ? 材料特性 ? 物理模型 ? 计算方法

? 特性获取和分析

2

00:13 Silvaco器件仿真流程

学习 3

器件结构

? 怎样得到器件的结构？

1、工艺生成 2、ATLAS描述 3、DevEdit编辑

? 需要注意的情况 除了精确定义尺寸外

也需特别注意网格 电极的定义（器件仿真上的短接和悬空） 金属材料的默认特性

devedit ：athena之外的另一种可以生成器件信息的工具。

功能:

（1）勾画器件。

（2）生成网格。(修改网格)

既可以对用devedit画好的器件生成网格，或对athena工艺仿真生成含有网格信息的

器件进行网格修改。

为什么要重新定义网格？ 工艺仿真中所生成的网格是用来形成精确度掺杂浓度分布、

结的深度等以适合

于工艺级别的网格，这些网格某些程度上不是计算器件参数所必需的。例如在计算 如阈值电压、源/漏电阻，沟渠的电场效应、或者载流子迁移率等等。Devedit可以 帮助在沟渠部分给出更多更密度网格而降低其他不重要的区域部分，例如栅极区域 或者半导体/氧化物界面等等。以此可以提高器件参数的精度。简单说就是重点区域 重点给出网格，不重要区域少给网格。

和工艺仿真的区别：

devedit - 考虑结果 他不考虑器件生成的实际物理过程，生成器件时不需要对 时间、温度等物理量进行考虑。

athena - 考虑过程 必需对器件生成的外在条件、物理过程进行描述。

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