材料分析实验报告合辑 --浙江师范大学 材料物理系(7)

（a） （b）

图1 扫描电子显微镜构造示意图

4.真空系统

镜筒和样品室处于高真空下，一般不得高于1×10－2 Pa，它由机械泵和分子涡轮泵来实现。开机后先由机械泵抽低真空，约20分钟后由分子涡轮泵抽真空，约几分钟后就能达到高真空度。此时才能放试样进行测试，在放试样或更换灯丝时，阀门会将镜筒部分、电子枪室和样品室分别分隔开，这样保持镜筒部分真空不被破坏。

5.电源系统

由稳压、稳流及相应的安全保护电路所组成，提供扫描电镜各部分所需要的电源。

三、使用仪器、材料

制片靶材，扫描电子显微镜

四、实验步骤

1. 样品的制备

2. 仪器的基本操作

1）开启稳压器及水循环系统；

2）开启扫描电镜及能谱仪控制系统；

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