微机型数显复合真空计使用说明书

目 录

1、安全说明????????????????????????? 1 2、技术参数????????????????????????? 2 3、工作原理???????????????????????? 3 4、性能概述???????????????????????? 4 5、使用概述???????????????????????? 5 6、规管性能概述?????????????????????? 7 7、规管外形及安装????????????????????? 10 8、真空计与规管连线???????????????????? 12 9、真空计开机及显示说明?????????????????? 13 10、真空计使用方法???????????????????? 13 10.1电阻2单元使用方法?????????????????? 13 10.2电阻1与电离复合单元使用方法????????????? 15 11、真空计去气?????????????????????? 17 *12、控制功能及设定方法?????????????????? 17 *13、控制输出??????????????????????? 18 *14、扩展功能??????????????????????? 20 机箱规格????????????????????? 22 15、附录 规管接口????????????????????? 24 常见问题???????????????????? 27

*号内容属选配功能说明，仅选配了此功能相应配置有效

1、 安 全 说 明

▲ 为确保该真空计的正常功能，使其具有较高的准确度、稳定性和较长的使用寿命，请根据本说明书中规定的允许值和应用条件进行操作和使用。

·操作、维护和维修该真空计时，请遵守电气设备的安全规范。′ ·避免大气压下开启电离规灯丝，这将烧毁电离规灯丝。 ·避免真空系统或管道有真空时，强制拆卸规管。

·避免用于“正压”的真空系统安装普通规管，应安装承受“正压”的规管。 ·避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极，以延长规管寿命。 ·采用适当措施防止误操作或不允许的损坏。

·如未按本说明书操作，我们将不承担任何责任；有关该真空计及其附件的保证条款也将无效。

该说明书使用符号说明：

▲ 注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身的伤害和对该真空计的损坏。

● 表示重要的附加信息和技巧或建议。

炫辰钛金保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需事先通知，产品及配件以实物为准。

2、技术参数

2.1 电阻单元技术参数：

·配用规管型号:ZJ-52T电阻规

·电阻规传感丝冷态电阻值(86.5Ω±1.7Ω) ·真空度测量范围（对干燥空气或氮气） 1.0×105～2.5×103可测范围。

2.5×103～5.0×10-1不大于显示值的±30% 5.0×10-1～1.0×10-1可测范围。 ·有效控制范围2.5×103～5.0×10-1Pa。

2.2 电离单元技术参数:

·测量范围:5～1Pa可测范围

1～5×10-5 Pa不大于显示值的±50% 5×10-5～1×10-5Pa可测范围

·配用规管型号:ZJ-27电离规 ·规管灵敏度:0.15±15% Pa-1。

·规管加速极（栅极）对地电位：225V±3% ·规管阴极（灯丝）中心点对地电位：25V±5%。 ·收集极对地电压：0V。

·发射电流：100uA±3% 5～1×10Pa 1mA±3% 1×10-1～1×10-5 Pa ·离子流放大器示值误差：5～1×10-4 Pa不大于±5% 1×10-4～1×10-5 Pa不大于±10%

·规管除气方式：焦耳去气。 ·有效控制范围：1Pa～5×10-5 Pa

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2.3其它参数

·控制输出模式：继电器触点通、断输出。每一组输出为一对常闭和一对常开。 ·控制负载：AC220V/1A（DC28V/5A）无感负载。 ·工作电源：AC220V±10%/50HZ。 ·功率：最大功率约40W。 ·工作环境温度：0～450C。 ·工作相对湿度＜85%。

·机箱规格及开孔尺寸和重量参见附录。

3、工作原理

3.1电阻单元工作原理

电阻单元采用热传导式电阻真空规（又称皮拉尼规），基于这种规通以电流的热丝温度是随真空（压力）而变化的。由于温度的改变导致热丝电阻的变化。因此用测量电阻的变化来测量真空度。

3.2 电离计工作原理

电离单元采用热阴极电离规。基于这种规在低压力（真空）下，对通过电流的电离管灯丝“加热”，使其发射电子，故称热阴极电离规；同时给电离规加速极施加直流高压，使电子在规管电极间产生的电场中被加速，去轰击气体分子使其电离，电离产生的正离子被收集极接收。

离子流与气体压力p的关系：

I+=KIeP

K为规管灵敏度，I+为离子流，Ie为发射电流，P为真空系统内压力（真空）。

3.3 复合真空计由电阻规管、电离规管和电子学电路组成。

电阻单元电路完成电阻规热丝定温功率调节，以及随真空度变化的测量桥路电压信号的采样，放大，经模数（A/D）转换为数字信号。

电离单元电路一部份提供电离规管所需的工作电压以及发射电流的稳定；另一部份完成离子流的检测、放大，经模数（A/D）转换为数字信号。

以微处理器为核心的数字电路，一方面完成电阻单元真空数字信号非线性处理、运算，最后送显示器显示；一方面完成电离单元数字信号采样、运算，并送显示器显示；同时完成离子流放大量程和发射电流转换的自动切换。另一方面接受前面板各按键指令或后板外控信号指令并发出相应执行指令；同时输出真空控制信号以及真空度模拟信号和计算机通讯信号等。

其工作原理功理图如下：

交流AC

电 源 显示器 直流高压 加 速 集 电 阻 规 2 测 量 桥 路 调理电路 模数转换（A/D 模数 转 换 (A/D)调理电路 测量桥路 电阻规1 按键输入 控制输出 计算机口输出 微 处 理 器 模拟量输出 规管灯丝 电 离 规 管 稳发射回路 离子收集极 流放大 模 数转换 (A/D) 外控信号 真空计电路工作原理框图

4、性能概述：

本复合真空计：

采用经过特殊的稳定的处理工艺，以热容量极小的金属丝作为真空敏感元件的电阻规，从而更大程度地降低零点、满度的漂移。

采用特别的定温式工作模式，使其电阻单元具有更宽广的测量范围和更快的响应时间。 采用高稳定、高性能直流高压稳压及稳发射电路，以确保电离规各参数稳定运行。

采用独特的真空度离子流采样放大电路和保护回路，确保从收集极回路串入的瞬变电压（TVS）强力衰减，使得真空度测量更加稳定和可靠。

采用全进口的微处理和数字接口芯片以及模拟与数字分离技术，光电隔离技术，数字滤波等新技术，确保了真空计具有强大的抗干扰能力。

采用优化的全自动切换技术，确保真空计自动量程切换平稳和可靠。

采用超量程自动关闭电离规灯丝技术，确保因真空系统突然曝露大气而不损坏电离规。

采用了外控PLC信号、RS232/RS485信号，开启/关闭电离规最新功能，使得实现真空系统的自动化成为可能。

采用国际通用流行的2U标准机箱以及PVC彩色薄膜面板，使真空计外型更为美观、时尚。

5、使用概述

真空计为二路电阻测量和一路电离测量，组合为复合真空计。

电阻单元2为独立工作单元，由真空计前面板左窗口显示。适宜抽气机组前级管路或其它位置的粗、低真空测量和控制。

电阻1和电离组合为复合单元，由真空计前面板右窗口显示。 这种复合在自动模式时，可实现电阻1自动开启和关闭电离规实现真实度连续测量和控制：（此模式运行要求电阻规1和电离规安装位置之间应没有压力（真空）差，如同一真空室内等）。 这种复合在手动模式时，电阻1和电离规可不受安装位置限制（如不在同一真空室内等），通过手动开启和关闭电离规进行测量和控制。

这种复合也可通过外控端口PLC信号等关闭电离规，以实现真空系统在放气降真空之前关闭电离规，避免了在低真空时使点亮的电离规灯丝氧化，以延长规管寿命；同时在真空系统恢复抽真空后又置为自动程序自动开启电离规。

可通过前面板完成控制点的设定，以及自动/手动模式测量时的自由切换。

可能过前面板零点（真空），满度（大气压）修正小孔，修正电阻单元零点（真空）和满度（大气压）值。

可通过面板完成去气功能等操作。

真空计前/后面板功能图： ZDF-X-LED前面板

ZDF-X-LED后面板 ZDF-X前面板

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