电子显微作业(3)

§2.4真空系统

真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。 真空泵用来在真空柱内产生真空，有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类。机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的SEM的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的SEM，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。之所以要用真空，主要基于以下两点原因：（1）电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。（2）为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成像的电子更多。

§2.5应用分析

聚焦离子束据偶较大的质量，经加速聚焦后能够以很高的能量和较短的波长直接把图案转移到较硬的基体材料上，还可对材料和器件进行刻蚀、沉积等微纳米加工，开辟了从大块材料上制备微纳米器件及进行微纳米加工的新途径。可以进行二次电子形貌分析且图像分辨率极高、背散射电子衬度分析、EDS能谱分析。主要应用领域为：材料科学、纳米技术、生物医学、物理、化学、地质、机械加工、微电路质量检测、失效分析等领域。如图2-3为扫描电镜整体示意图，图2-4为扫描电镜采集的样品照片。

图2-3扫描电镜示意图 图2-4样品照片

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