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真空泵2X-说明书(8)

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十一、2X系列真空泵曲线图

100

6X10

-1

1.3X10

1.3X10

1

1.3X10

2

1.3X10

3

1.3X10

4

Pa2X-70A2X-30A2X-152X-82X-4A

20

抽气速率SL/S

1086421

0.1

-410

10

-3

10

-2

10

-1

10

10

1

10

2

10

3

入口压（Torr）

十二、排除故障

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