数控多线切割技术及发展趋势

数控多线切割技术及发展趋势

ＥＰＥ

电子工业专用设备

ＥｑｕｉｐｍｅｎｔｆｏｒＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＰｒｏｄｕｃｔｓＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ

专题报道

数控多线切割技术及发展趋势

戴瑜兴，汤睿，张义兵，蒋近

（湖南大学电气与信息工程学院，湖南长沙４１００８２）

摘要：数控多线切割技术实现了集成电路制造技术的跨越式发展，已成为数控机床制造技术及集成电路制造技术的重要标志，引起了发达国家的广泛重视。论述了数控多线切割技术的特征；介绍了我国自行研制的ＸＱ１２０和ＸＱ３００系列数控多线切割机床并与国外产品进行比较；指出了开发大型数控多线切割机床的技术难点；阐述了我国研发具有自主知识产权的大型数控多线切割机床设备的必要性。

关键词：多线切割；半导体加工；集成电路制造技术；数控机床；张力控制中图分类号：ＴＮ３０５．１

文献标识码：Ａ

文章编号：１００４－４５０７（２００７）１１－０００１－０４

ＮｕｍｅｒｉｃａｌＣｏｎｔｒｏｌＭｕｌｔｉ－ｗｉｒｅＳａｗＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄ

ＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔＴｒｅｎｄ

ＤＡＩＹｕ－ｘｉｎｇ，ＴＡＮＧＲｕｉ，ＺＨＡＮＧＹｉ－ｂｉｎｇ，ＪＩＡＮＧＪｉｎ

（ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨｕｎａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈａｎｇｓｈａ，４１００８２Ｃｈｉｎａ）

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｎｕｍｅｒｉｃａｌｃｏｎｔｒｏｌｍｕｌｔｉ－ｗｉｒｅｓａｗｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｇｉｖｅｓｔｈｅｉｎｔｅｇｒａｔｅｃｉｒｃｕｉｔｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｔｅｃｈ－ｎｏｌｏｇｙａｇｒｅａｔｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ，ｗｈｉｃｈｂｅｃｏｍｅｓａｉｍｐｏｒｔａｎｔｓｉｇｎｏｆｎｕｍｅｒｉｃａｌｃｏｎｔｒｏｌｍａｃｈｉｎｅｍａｎｕｆａｃｔｕｒ－ｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＩＣｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｉｔｇａｉｎｓｔｈｅａｔｔｅｎｔｉｏｎｏｆｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｅｄｃｏｕｎｔｒｉｅｓ．Ｔｈｉｓａｒｔｉｃｌｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｎｕｍｅｒｉｃａｌｃｏｎｔｒｏｌｍｕｌｔｉ－ｗｉｒｅｓａｗｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ；ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄＸＱ１２０ａｎｄＸＱ３００ｓｅｒｉｅｓｍｕｌｔｉ－ｗｉｒｅｓａｗｓｗｈｉｃｈａｒｅｄｅｖｅｌｏｐｅｄｂｙｏｕｒｃｏｕｎｔｒｙａｎｄｃｏｍｐａｒｅｄｗｉｔｈｏｖｅｒｓｅａｓｐｒｏｄｕｃｔｓ；ｐｏｉｎｔｅｄｏｕｔｔｈｅｔｅｃｈｎｉｃａｌｄｉｆｆｉｃｕｌｔｉｅｓｏｆｄｅｖｅｌｏｐｉｎｇｌａｒｇｅ－ｓｉｚｅｎｕｍｅｒｉｃａｌｃｏｎｔｒｏｌｍｕｌｔｉ－ｗｉｒｅｓａｗ；ａｎｄｍａｄｅｔｈｅｃｏｎｃｌｕｓｉｏｎｔｈａｔｄｅｖｅｌｏｐｉｎｇｔｈｅｌａｒｇｅ－ｓｉｚｅｎｕｍｅｒｉｃａｌｃｏｎｔｒｏｌｍｕｌｔｉ－ｗｉｒｅｓａｗｂｙｏｕｒｃｏｕｎｔｒｙｗｈｉｃｈｏｗｎｓｔｈｅｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌｐｒｏｐｅｒｔｙｒｉｇｈｔｓｉｓｖｅｒｙｎｅｃｅｓｓａｒｙ．

Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｍｕｌｔｉ－ｗｉｒｅｓａｗ；Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｐｒｏｃｅｓｓ；Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｃｉｒｃｕｉｔｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ；Ｎｕ－ｍｅｒｉｃａｌｃｏｎｔｒｏｌｍａｃｈｉｎｅ；Ｔｅｎｓｉｏｎｃｏｎｔｒｏｌ

１引言

在一个国家国民经济的发展中，电子信息产业

是龙头，而集成电路产业则是整个电子信息产业的核心和基础，集成电路产业的振兴对一个国家的经济发展有着重要的战略意义

［１］

。目前，ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅ

收稿日期：２００７－１０－２５

作者简介：戴瑜兴（１９５６．１－），男，湖南大学教授，博士生导师，主要研究方向：数字化系统设计理论与应用，现代底层网络通信技术。

（总第１５４期）１

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