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高分辨率,高精度角度编码器(4)

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进行测量,如图2.2所示。光源经过角椎棱镜反射得到的光路随着转角的变化而变化,干涉条纹也随之移动,测得条纹的移动量,即可获得转台的转角大小。这种技术已经发展的相当成熟,美国、日本、德国、俄罗斯等国家早已将激光干涉小角度测量技术作为小角度测量的国家基准,为了增强干涉仪抗环境干扰的能力,可以采用双频激光干涉测量法,用双频激光代替普通光源。用这种方法测量平面角,灵敏度可以达到0.002”。但这种方法的测量装置体积庞大,价格昂贵。

3.圆光栅法

圆光栅是目前角度测量的主要器件之一,对于高精度、高分辨率的角度测量领域,圆光栅测角技术已有比较广泛的应用,如光栅刻度机、光栅编码器、光栅度盘检查仪、光栅分度头等。它的测角原理是将圆光栅和转台同轴安装,通过测得光栅转过的转矩数得到转角大小。

该方法主要是在静态下的相对角度测量,动态测量时,在lO转/秒的转速下,要想达到1t的分辨率都非常的困难。我国航天部第一计量测试研究所研制的精密数显转台,是具有高准确度、高分辨率、多功能的测角仪器,静态测角分辨率为O.Ol¨,一次静态测量任意角的不确定度为0.22”,仪器用比相法检测圆光栅,动态检测圆光栅的直径间隔误差不确定度为0.16”。

圆光栅的缺点是光栅与转台的对心准确度要求高,高转确度光栅的制作加工困难。

4.环形激光法

环形激光是目前光学测角法中测量准确度最高的方法,转速测量相对准确度可达10-6。其角度测量的基本原理如图1.3所示,

当被测角度量具棱面法线与量具棱面法线相重合的瞬

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